2019年05月07日

FTM107-A膜厚监控仪 膜厚仪 在线膜厚检测仪

FTM107-A膜厚监控仪 膜厚仪 在线膜厚检测仪

  • 产品参数、性能指标、使用说明、安装调试、用途
  • 产品价格、生产维修、校正校准、应用范围、产地

FTM107-A膜厚监控仪

一.FTM107-A膜厚监控仪应用范围:

    FTM107-A膜厚监控仪适用于普通蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,通过触摸屏和数码管显示,使您能获取完整的沉积数据,包括速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间。

FTM107-A膜厚监控仪采用先进的触摸屏技术,控制和显示均通过触摸屏实现;同时配有数码管显示实时速率和厚度,以适应习惯数码管显示的技术人员。到达设置厚度,自动关闭挡板或蒸发源。采用了更先进的软件和硬件设备,进一步提高了仪器抗干扰能力。 

二、FTM107-A膜厚监控仪技术特点:

1.全触摸屏操作显示,简单易用;

2.显示薄膜厚度,可控制二个挡板/蒸发源;

3.监控镀膜层数达到99层;

4.提供RS232/RS485接口。

三、FTM107-A膜厚监控仪技术参数:


FTM107-A监控仪

晶振频率

 6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体)

显示方式

5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚

操作方式

 触摸屏

厚度范围

0-99μ9999?

厚度显示分辨率

1?

速率范围

0-999.9?

速率显示分辨率

0.1?/s

镀膜层数

99

探头数量

4

工具因子

0.01-99.99

材料存储

257+自定义10

通 讯

RS232/RS485

挡板/源控制

2组触点,到达厚度关挡板/蒸发源

镀膜显示

速率曲线/数值

镀膜巡回次数

99

机箱尺寸

480×280×89mm(2U 19”机箱)

 

四.特殊功能:

1)具有人工停止镀膜功能  

2)可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比

3)显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次


 


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